Bộ cung cấp mâm cặp tĩnh điện điều khiển bằng phần mềm Trek® 646 cung cấp một loạt các tính năng phù hợp với nhiều ứng dụng đòi hỏi khác nhau. Thiết bị này kết hợp công nghệ Năng lượng tiên tiến đã chứng tỏ hiệu quả và thông lượng tăng gấp ba lần so với các nguồn cung cấp khác. Hiệu suất đáng tin cậy linh hoạt của Trek 646 cho phép sử dụng trong nhiều công cụ và quy trình độc đáo giúp loại bỏ nhu cầu chỉ định nguồn cung cấp mới cho từng công cụ hoặc quy trình duy nhất trong một cơ sở.

• Giảm lỗi khí mặt sau, tăng thông lượng và loại bỏ các vấn đề về tấm wafer dính / popping
• Các thông số điều khiển như quá dòng, ngưỡng hiện tại và ngưỡng kẹp tấm, điện áp kẹp, điện áp bù và điều khiển bù / biên độ bên trong hoặc bên ngoài
• Điều chỉnh biên độ / độ lệch trong quá trình và tính linh hoạt của kiểm soát đầu ra
• Kiểm soát đầu ra bằng cách sử dụng I / O bảng điều khiển phía sau, lệnh máy tính nối tiếp hoặc các điều khiển bảng điều khiển phía trước
• Định cấu hình cho chuỗi kẹp và declamp tùy chỉnh và hình dạng sóng

• Giao diện điều khiển bảng điều khiển phía trước có thể khóa
• Chứng chỉ hiệu chuẩn có thể theo dõi NIST được cung cấp cùng với mỗi đơn vị
• Hỗ trợ cả công nghệ Coulombic và Johnsen-Rahbek ESC
• Tải lên và lưu trữ hồ sơ mâm cặp tĩnh điện vào thiết bị và được lưu trữ nội bộ thông qua giao diện phần mềm thân thiện với người dùng
• Phát hiện wafer bao gồm trạng thái không có wafer, wafer-hiện tại hoặc wafer-kẹp