Trek 645
Trek 645 cung cấp mâm cặp tĩnh điện điều khiển bằng phần mềm mang lại tính linh hoạt và hiệu suất để sử dụng trong nhiều quy trình.
Giai đoạn đầu ra: 0 đến ± 2 kV
Dải điện áp đầu ra: 0 đến ± 2 kV
Dải dòng điện đầu ra: 0 đến ± 6,5 mADC với khả năng cao nhất là 10 mA
Giới thiệu
Nguồn cung cấp mâm cặp tĩnh điện điều khiển bằng phần mềm Trek® 645 với lịch sử được ghi chép lại giúp tăng hiệu suất và thông lượng bằng ba lần so với các nguồn cung cấp khác. Hiệu suất đáng tin cậy linh hoạt của Trek 645 cho phép sử dụng trong nhiều công cụ và quy trình độc đáo giúp loại bỏ nhu cầu chỉ định nguồn cung cấp mới cho từng công cụ hoặc quy trình duy nhất trong một cơ sở.
Ưu điểm
- Giảm lỗi khí mặt sau, tăng thông lượng và loại bỏ các vấn đề về tấm wafer dính / popping
- Các thông số điều khiển như quá dòng, ngưỡng hiện tại và ngưỡng kẹp tấm, điện áp kẹp, điện áp bù và điều khiển bù / biên độ bên trong hoặc bên ngoài
- Điều chỉnh biên độ / độ lệch trong quá trình và tính linh hoạt của kiểm soát đầu ra
- Kiểm soát đầu ra bằng cách sử dụng I / O bảng điều khiển phía sau, lệnh máy tính nối tiếp hoặc các điều khiển bảng điều khiển phía trước
- Định cấu hình cho chuỗi kẹp và declamp tùy chỉnh và hình dạng sóng
