Previous
Next
Sekidenko OR400T
Cảm biến đo nhiệt độ model OR400T (OFT) hãng AE ( Advanced energy) mở rộng tính linh hoạt của dòng sản phẩm OFT với giải pháp không tiếp xúc, cạnh tranh về chi phí cho một số ứng dụng bán dẫn khối lượng lớn, bao gồm PECVD, LPCVD, PVD và sản xuất kim loại.
Mẫu OR400T cung cấp khả năng đo nhiệt độ một kênh và hỗ trợ giao diện dữ liệu RS-232 và tương tự với tốc độ lên đến 20 lần đọc mỗi giây. Do thiết kế nhỏ gọn, OR400T OFT có thể dễ dàng tích hợp để đáp ứng các yêu cầu riêng của nhiều ứng dụng quy trình
TÍNH NĂNG
- Cải thiện độ chính xác của phép đo nhiệt độ của cảm biến
- Đo nhiệt độ tại chỗ, không tiếp xúc sử dụng cảm biến quang học thấu kính hoặc cảm biến ống ánh sáng sapphire
- Có thể tích hợp trong các máy đo vật liệu rắn, quy trình sản xuất tốc độ cao.
- Tăng năng suất, sản lượng và thông lượng
- Kiến trúc nền tảng dựa trên mô-đun, tăng linh hoạt cao. Dễ dàng tích hợp với các hệ thống giám sát nhiệt độ khác.
- Cổng truyền thông RS-232 và analog với các khả năng kích hoạt và đồng bộ hóa.
- Khả năng đa kênh và tốc độ đọc lên đến 2 kHz
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
- Số kênh đo: 1
- Nhiệt độ dải đo: 50-3500 độ C
- Filter range: 600-1600mm
- Tần số đọc tín hiệu: 20Hz
- Độ sai số cảm biến đo nhiệt độ: ±1.5 độ C
- Độ phân giải nhiệt độ của cảm biến OR400T đo: 0.001 độ C
- Giao thức truyền thông: RS-232, lưu lượng đến 115kb
- Tín hiệu analog đầu ra: 0-10V, 4-20mA
- Nguồn cung cấp: 90-263 VAC, 47-63Hz, hoặc điện áp DC: 24VDC
- Kích thước: 55.7 mm (H) x 31.8 mm (W) x 195.2 mm (D)
- Trọng lượng: 33kg
ỨNG DỤNG
- Sản xuất nguyên vật liệu bán dẫn như: Epi, PECVD, LPCVD, PVD, MOCVD
- Giám sát nhiệt độ công đoạn coating màng film…
ƯU ĐIỂM
- Cải thiện độ chính xác của phép đo nhiệt độ cho các quy trình quan trọng yêu cầu tốc độ nhanh và độ chính xác cao.
- Tăng cường khả năng lặp lại và giảm thiểu sự thay đổi
- Tăng năng suất, sản lượng và thông lượng
- Tăng độ ổn định và độ tin cậy trên nhiều khoang và vật liệu nền
- Đo nhiệt độ tại chỗ, không tiếp xúc và đo độ phát xạ
- Thiết bị có chức năng đo nhiều bước sóng tích hợp một thiết bị
- Tốc độ đọc nhiệt độ và độ phát xạ dẫn đầu công nghiệp
- Khả năng chống nhiễu RF ưu việt, kết quả đo chính xác.
