Phún xạ (tiếng Anh: Sputtering) hay Phún xạ cathode (Cathode Sputtering) là kỹ thuật chế tạo màng mỏng dựa trên nguyên lý truyền động năng bằng cách dùng các ion khí hiếm được tăng tốc dưới điện trường bắn phá bề mặt vật liệu từ bia vật liệu, truyền động năng cho các nguyên tử này bay về phía đế và lắng đọng trên đế.

Solvix DC và bộ nguồn xung-DC ổn định áp, dòng cho các ứng dụng phún xạ yêu cầu độ chính xác cao và khả năng ổn định đã được chứng minh nhờ hơn một thập kỷ AE trong lĩnh vực này. Với nhiều mức công suấ,tần số, xung và nhiều tùy chọn giao tiếp, bộ nguồn Solvix cung cấp giải pháp chất lượng, ổn định và tiết kiệm chi phí cho quy trình sản xuất, nghiên cứu độc đáo của bạn.

·        Ứng dụng công nghệ điện áp DC và xung DC, mang lại dòng điện ổn định, chất lượng.

·        Xử lý quá trình phún xạ vượt trội, cung cấp dòng điện chính xác.

·        Có đa dạng chế độ điều chỉnh dòng điện, công suất và điện áp phù hợp với từng quá trình sản sinh phún xạ khác nhau

·        Làm mát không khí và nước, đảm bảo tuổi thọ thiết bị lâu dài, tiết kiệm chi phí đầu tư.

·        Đa dạng chức năng, cấu hình đáp ứng cho các yêu cầu năng lượng cao khác nhau

·        Đa dạng model: 3Kw,6Kw,10Kw,15Kw,20Kw, 30Kw,40Kw, đầu ra kép 10Kw, đầu ra kép 15Kw.

·        Tần số khuếch đại đầu ra: 1-30KHz và 5-350KHz.

·        Điện áp DC đầu ra: 20-700VDC, 20-800VDC, 20-1000VDC, 20-700VDC.

·        Độ sai số năng lượng cung cấp: <0.5%

·        Điện áp AC đầu ra: 400VAC, 50/60Hz.

·        Giao thức truyền thông: RS232, RS485, profibus, ethernet.

·        Kích thước:

+ Model 3-20Kw: 17.8 cm (H) x 48.4 cm (W) x 68.0 cm

          + Trọng lượng: 29-40Kg

+ Model: 20-40Kw: 26.5 cm (H) x 48.4 cm (W) x 68.3 cm (D)

          + Trọng lượng: 40-76kg

• Ứng dụng công nghệ phún xạ trong tạo màng mỏng, phim mỏng, trong phòng thí nghiệm, công nghiệp

• Sử dụng tạo các màng mỏng trên bề mặt wafer

• Ứng dụng trong nhà máy sản xuất wafer, vật liệu bán dẫn, semicondutor.

• Ứng dụng trong phòng thí nghiệm như đại học quốc gia hà nội

·        Độ tin cậy, độ chính xác và độ lặp lại đã được chứng minh thực tế

·        Mạng lưới hỗ trợ trên toàn thế giới.

·        Giảm hư hỏng chất nền và sai số trong quá trình sản sinh hồ quang.

·        Khả năng thích ứng linh hoạt với một loạt các yêu cầu quy trình liên quan đến hồ quang

·        Thông lượng cao, mang lại hiệu quả cao sản sinh hồ quang.

·        Cài đặt dễ dàng và dịch vụ hiệu quả

·        Được thiết kế theo mô-đun, các thiết bị Solvix by AE dễ lắp đặt và giúp dễ dàng thực hiện bảo trì phòng ngừa tại hiện trường, giảm chi phí bảo trì.