Previous
Next
Paramount Plus
Máy phát tần số plasma Paramount Plus với dải xung rộng nhất luôn có mặt trong các máy phát xung RF. Paramount Plus cung cấp khả năng điều chỉnh RF chính xác, thao tác xung tuyệt đối và thu thập dữ liệu tiên tiến.
Được thiết kế với phạm vi rộng lớn của tần số cấp RF – với dải tần 400 kHz đến 60 MHz và mức công suất từ 1,5 đến 15 kW – Paramount Plus mang lại chu kì xung ổn định và độ tin cậy mà bạn yêu cầu.
Tính Năng
- Kiểm soát, điều khiển hoàn toàn bằng kỹ thuật số
- Xung tần số cấp đơn và kép phù hợp mọi yêu cầu kỹ thuật.
- Đồng bộ hóa cấp xung tần số cao. Chuẩn xác – ổn định
- Điều khiển sóng dạng xung
- Tích hợp chức năng đo công suất và trở kháng tại thời điểm thực tế.
- Giám sát xung thời gian thực
- Tích hợp chức năng điều chỉnh tần số, phù hợp yêu cầu kỹ thuật cấp xung plasma
- Dải tần số rộng từ 400Khz-600Mhz.
Ứng Dụng
- Ứng dụng công nghệ phún xạ trong tạo màng mỏng, phim mỏng, trong phòng thí nghiệm, công nghiệp
- Sử dụng tạo các màng mỏng trên bề mặt wafer
- Ứng dụng trong nhà máy sản xuất wafer, vật liệu bán dẫn, semicondutor.
- HDP-CVD
- PECVD
- Etch – ICP / RIE
- PVD
- Làm sạch bằng plasma
Ưu Điểm
- Máy phát tần số chất lượng cao CESAR, ổn định cao. Đảm bảo quá trình phún xạ luôn được diễn ra ổn định, an toàn.
- Tăng cường cả hiệu quả của quá trình ion hóa ban đầu và cho phép tạo ra plasma ở áp suất thấp hơn, làm giảm cả sự kết hợp khí nền trong lớp phủ và mất năng lượng trong nguyên tử phún xạ qua va chạm ion Khí
- Hiệu quả cao – tỏa nhiệt ít hơn, tăng tuổi thọ thiết bị, giảm thiểu chi phí sửa chữa.
