Paramount HFi

Paramount® HFi là một giải pháp phân phối RF tích hợp cho quá trình lắng đọng và các quy trình dựa trên plasma bán dẫn khác. Một mảng tụ điện thể rắn có thể chuyển đổi bằng điện được tích hợp vật lý với bộ khuếch đại công suất RF cung cấp hệ thống phân phối điện hệ số dạng nhỏ gọn nhất hiện có. Với kích thước gói tổng thể gần bằng kích thước của máy phát điện RF truyền thống, thiết kế này cũng bao gồm mạng kết hợp trong vỏ bọc chung. Mạng kết hợp, với 32 vị trí dải điều chỉnh, cho phép phân phối nguồn RF đáng tin cậy trên một loạt các trở kháng.

Ngoài việc giảm diện tích, các tụ điện chân không điều khiển cơ học được thay thế trong mạng kết hợp tích hợp với các thành phần trạng thái rắn để tăng độ tin cậy và độ lặp lại – các thuộc tính quan trọng trong các quy trình lặp đi lặp lại, chu kỳ cao. Bằng cách loại bỏ mạng kết hợp tụ điện chân không độc lập truyền thống, việc điều chỉnh nguồn điện trực tiếp và điều chỉnh rất nhanh đạt được, giảm độ trễ trong các quy trình lắng đọng số bước cao, chu kỳ ngắn ngày nay.

• 32 vị trí dải điều chỉnh với tốc độ chuyển đổi mili giây để cho phép các bước quy trình ngắn nhất
• Các vị trí dải điều chỉnh có thể điều khiển tối ưu hóa dải trở kháng cho quy trình của khách hàng
• Làm mát bằng nước không yêu cầu trao đổi không khí bên ngoài
• Chế độ máy kích thích chung (CEX) để đồng bộ hóa nhiều hệ thống trong cấu hình cụm
• Giao tiếp RS-232, Ethernet và EtherCAT

• Tận dụng tốc độ điều chỉnh nhanh hơn để mang lại hiệu suất ổn định ngay cả trong các bước quy trình ngắn nhất
• Giảm chi phí với cấu hình gói tích hợp khi so sánh với máy phát điện riêng biệt và mạng phù hợp
• Giải phóng bất động sản có giá trị trên hệ thống lắng đọng buồng nhiều tấm với việc giảm dấu chân