Navigator II

Máy phát điện Plasma Navigator II là thiết bị phát điện có thể điều chỉnh kỹ thuật số nhanh chóng, chính xác và đáng tin cậy.

Công nghệ kỹ thuật số tiên tiến của mạng đối sánh sẽ giúp tăng tốc độ điều chỉnh và thời gian phản hồi phù hợp.

Phương pháp và kiểm soát plasma RF hàng đầu

Điều khiển xung nâng cao với khả năng điều chỉnh xung trong khi điều chỉnh

Những khả năng đọc dữ liệu chưa từng có về plasma với Z’Scan II tích hợp

Cấu trúc kỹ thuật số với các thuật toán điều chỉnh nhanh dựa trên mô hình

Cung cấp điện RF xung

Hoạt động bằng tần số quét

Khả năng sai số thấp xuyên điều chế (IMD) cho các ứng dụng đa tần số

Công suất quy trình thời gian thực và đo trở kháng

Máy phát điện Navigator II ứng dụng đối với các khu công nghiệp bán dẫn, PECVD, điện môi, dây dẫn, phún xạ

Điều chỉnh nhanh chóng và cải thiện thời gian phản hồi đối sánh

Thắt chặt kiểm soát quy trình

Tăng số lượng công cụ và năng suất sản phẩm

Cải thiện độ tin cậy và chi phí sở hữu

Tùy chỉnh trên nhiều khoang và quy trình khác nhau