Dòng Advanced Energy MAXstreamTM là thế hệ tiếp theo của nguồn plasma từ xa để làm sạch buồng. Dòng MAX có sẵn ở 3, 6, 8, 10 và 12 tốc độ dòng SLPM NF3 để tối ưu hóa giá cả và hiệu suất, đồng thời cải thiện đến 60% độ chính xác của nguồn điện so với các hệ thống được sử dụng truyền thống.

Đảm bảo tuổi thọ buồng dài và ít tạo hạt, AE mang đến công nghệ và vật liệu nguồn plasma đã được chứng minh và khác biệt của mình. Thiết kế lõi đánh lửa kép độc đáo mang lại độ tin cậy đánh lửa plasma tốt nhất trong phân khúc. Với khả năng đánh lửa đáng tin cậy và luôn tấn công, MAXstream RPS cung cấp khả năng hoạt động ổn định hơn và ít thời gian ngừng hoạt động hơn để bảo trì RPS.

MAXstream RPS tạo điều kiện cho khả năng tương thích thả vào với các hệ thống RPS truyền thống, đơn giản hóa khả năng tương thích trong thiết kế cũng như cho phép nâng cấp trường liền mạch thành một giải pháp mới đáng tin cậy và có thể lặp lại.

• Năm kiểu máy: MAXstream 300 cho các ứng dụng lưu lượng thấp và MAXstream 600, 800, 1000, 1200 cho các ứng dụng lưu lượng cao hơn
• RPS có độ tin cậy cao tối đa hóa thời gian hoạt động của công cụ
• Khả năng thả vào với các đơn vị RPS truyền thống để dễ dàng nâng cấp thiết kế lên hiệu suất và độ tin cậy cao hơn
• Tăng cường làm mát các bức tường nguồn plasma để giảm thiệt hại do giãn nở nhiệt và xói mòn hóa học
• Giám sát và kiểm soát tích cực công suất plasma để có độ chính xác công suất hàng đầu trong ngành

• Cho phép khách hàng tối ưu hóa chi phí thông qua nhiều tùy chọn luồng
• Tiết kiệm không gian công cụ có giá trị với diện tích nhỏ hơn Xstream RPS
• Đạt được độ tin cậy đánh lửa gần như 100% với lõi đánh lửa kép AE độc đáo
• Tăng tuổi thọ của buồng với chất nền nhôm có độ tinh khiết cao độc quyền của AE với quá trình anod hóa Loại 3
• Giảm thời gian làm sạch với khả năng lên đến 12 dòng SLPM