• Hai hoặc bốn kênh, có thể mở rộng lên đến 64 kênh với RS485 Modbus
• Thiết kế PCB đơn với các tùy chọn cho đầu ra tương tự và vỏ kim loại
• Đầu dò miễn nhiễm với nhiễu điện từ, chẳng hạn như điện áp cao, RF, plasma và vi sóng
• Tương thích ngược với các đầu dò của lò xo nạp năng lượng 
• Đầu dò tùy chỉnh có sẵn cho các ứng dụng bán dẫn

Hiệu suất:

Điện áp vào: 

• 5 đến 24VDC danh nghĩa ở mức điện áp 100mA

Các kênh:

• m922: 2
• m924: 4

Nhiệt độ:

• Nhiệt độ hoạt động: -100~330 °C (phụ thuộc vào đầu dò)
• Độ phân giải đo lường: 0.01 °C
• Sai số: ±0.05 °C (phụ thuộc vào đầu dò)
• Nhiệt độ bên ngoài: 0 đến 60 °C

Tần số đo: 

• Lên đến 50 Hz mỗi kênh
•  5~95%RH, 

Kích thước (L x W x H): 

• 134.4 x 100.6 x 23.7 mm (bảng mạch)
• Vỏ kim loại che chắn điện từ (phụ kiện tùy chọn)

Điều khiển:

•  Analog: 0 đến 10 V hoặc 4 đến 20 mA
• Đầu ra kết nối: RS232, RS485
• Giao thức: ASCII và Modbus (RS485)

• Giám sát mâm cặp tĩnh điện Plasma
• Màn hình vòi hoa sen plasma bên trong phòng
• Giám sát nhiệt độ bên ngoài phòng
• Giám sát nhiệt độ thiết bị Wafer
• Xử lý chất bán dẫn và FPD sử dụng RF và plasma

Tải về catalogue: Thiết bị đo nhiệt độ Luxtron m920 Series

Luxtron m920 Series | Fiber Optic Temperature Sensors | Advanced Energy

• Đạt được độ chính xác cao và phạm vi nhiệt độ cao cho các quy trình axit hóa và wafer  khác nhau
• Theo dõi điều kiện dây chuyền nhanh hơn với tốc độ lấy mẫu nhanh
• Đo nhiệt độ tốt hơn với tiếng ồn thấp 
• Độ tin cậy cao, tỷ lệ hỏng hóc thấp
• Hỗ trợ tích hợp tùy chỉnh và thiết kế thăm dò trên toàn thế giới