LFGS
Máy phát điện tần số trung bình tiết kiệm được thiết kế riêng để xử lý Plasma
- Dải tần số đầu ra rộng
- Thiết kế nhỏ gọn
- Giao thức giao tiếp linh hoạt
GIỚI THIỆU
Máy phát điện LFGS đa năng, tần số thay đổi (1250 W, 40 đến 500 kHz) phù hợp với nhiều ứng dụng xử lý plasma bán dẫn và chung, bao gồm phún xạ, khắc ion phản ứng, lắng đọng plasma, trùng hợp và xử lý bề mặt. Gói 19 inch nhỏ gọn, có thể lắp vào giá đỡ, làm mát bằng không khí giúp lắp đặt và tiết kiệm không gian quý giá. Với thiết kế cầu nối ahalf, bộ khuếch đại class-D, bộ nguồn LFGS cung cấp công suất phản xạ thấp nhất hiện có trên thị trường.
TÍNH NĂNG
- Tần số thay đổi
- Làm mát không khí
- Menu điều hành nâng cao
- Bảng điều khiển phía trước hoạt động
- Chế độ xung (0 đến 10 kHz) Chế độ hoạt động CEX 2 cổng người dùng tương tự
- Giao tiếp RS-232, Ethernet và Profibus
ƯU ĐIỂM
- Hỗ trợ nhiều loại ứng dụng
- Tiếp cận công suất phản xạ thấp nhất có sẵn trên thị trường
- Dễ dàng cài đặt
- Sử dụng hiệu quả không gian có giá trị
