Máy phát điện tần số trung bình tiết kiệm được thiết kế riêng để xử lý Plasma
Máy phát điện LFGS đa năng, tần số thay đổi (1250 W, 40 đến 500 kHz) phù hợp với nhiều ứng dụng xử lý plasma bán dẫn và chung, bao gồm phún xạ, khắc ion phản ứng, lắng đọng plasma, trùng hợp và xử lý bề mặt. Gói 19 inch nhỏ gọn, có thể lắp vào giá đỡ, làm mát bằng không khí giúp lắp đặt và tiết kiệm không gian quý giá. Với thiết kế cầu nối ahalf, bộ khuếch đại class-D, bộ nguồn LFGS cung cấp công suất phản xạ thấp nhất hiện có trên thị trường.