Giải pháp cho phép điều khiển nâng cao trong các quy trình plasma. Việc phân phối điện chính xác cao hơn, điều chỉnh tần số và xung đa cấp phù hợp, chính xác.
Khắc axít (Etching)
Deposition
Inspection
Cấy ghép Implant (Implant & RTP)
Xử Lý Nhiệt
Dễ dàng đạt được độ chính xác, độ lặp lại và độ đảm bảo của quá trình xử lý nhiệt mà bạn yêu cầu.