Dòng máy phát RF và hệ thống phân phối năng lượng Apex đa năng có thiết kế mô-đun nhỏ gọn, phù hợp để lắp vào các vị trí chật hẹp. Sử dụng công nghệ chuyển đổi RF công nghệ cao, máy phát Apex RF và hệ thống phân phối điện đảm bảo cung cấp độ tin cậy của sản phẩm và đạt yêu cầu của các quy trình nâng cao. Khả năng tăng năng lượng mật độ cao làm cho chúng trở nên lý tưởng cho các quy trình plasma tiên tiến. Và các mô hình truyền thông khác nhau và các tính năng có thể định cấu hình cho phép bạn tùy chỉnh nền tảng phù hợp với từng quá trình sản xuất.

·        Thiết kế nhỏ gọn, hợp lí. Dễ dàng lắp đặt tích hợp với các hệ thống trong quá trình

·        Thiết bị được thiết kế các gá treo, lắp đặt tiện lợi

·        Băng thông của vòng điều khiển quá trình rộng

·        Mật độ công suất cao hơn các model thông thường

• Ứng dụng công nghệ phún xạ trong tạo màng mỏng, phim mỏng, trong phòng thí nghiệm, công nghiệp

• Sử dụng tạo các màng mỏng trên bề mặt wafer

• Ứng dụng trong nhà máy sản xuất wafer, vật liệu bán dẫn, semicondutor.

• Ứng dụng trong phòng thí nghiệm như đại học quốc gia hà nội

• Sản xuất pin năng lượng mặt trời

• Thiết bị ổ cứng lưu trữ dữ liệu

• Màn hình phẳng

·        Máy phát tần số cao APEX tăng mật độ công suất cao hơn

·        Cải thiện tính linh hoạt của quy trình

·        Tăng năng suất, hiệu quả sản xuất dựa vào mật độ tầng số cao có thể điều chỉnh

·        Máy phát tần số Apex có thiết kế gọn, nhẹ, dễ dàng tích hợp , lắp đặt hoặc di chuyển.

·        Giao thức truyền thông đa dạng, hỗ trợ KH dễ dàng giám sát qua phần mềm, hệ thống.